Chemical vapor deposition refractory metals and ceramics III : [proceedings of the] Symposium... Vol. 363 / edited by Bernard M. Gallois, Woo Y. Lee, Michael A. Pickering

Autor secundário: Pickering, Michael A.;Lee, Woo Y.;Gallois, Bernard M.Autor Institucional (Principal): Symposium "Chemical Vapor Deposition of Refractory Metals and Ceramics" , 3, Boston, MA, 1994Língua: Inglês.País: Estados Unidos.ISBN: 1-55899-264-2.Publicação: Pittsburgh (PA) : Materials Research Society, 1995Descrição: XI, 284 p. : ilRevista: Materials Research Society symposium proceedingsAssunto : Materiais cerâmicos // Metais // Materiais refratários // Revestimentos cerâmicos // Filmes finos de multicamadas // Deposição química de vaporCDU: 620